Сегодня компания Canon произвела фурор в мире полупроводников, анонсировав свои новые системы наноимпринтной литографии для производства чипов. Компания позиционирует эту технологию как альтернативу дорогостоящим и сложным системам литографии в крайнем ультрафиолете (EUV), в которых в настоящее время доминирует голландская фирма ASML Holding NV.
Согласно канону от 13 октября объявлениеМашины для наноимпринтинга компании могут производить микросхемы по 5-нм техпроцессу, что соответствует передовому уровню EUV. Компания прогнозирует, что усовершенствования в материалах для печати и выравнивании наложений могут улучшить разрешение до 2 нм, что решительно позволит Canon перейти на производство следующего поколения. Это значительный скачок для японского технологического гиганта после отставания в гонке EUV.
В отличие от сложного использования мощных лазеров в EUV, наноимпринтинг впечатывает наноразмерные схемы непосредственно на кремниевые пластины с помощью штампа, напоминающего пресс-форму. В Canon считают, что этот более простой процесс механического импринтинга станет более дешевым и доступным вариантом для производителей чипов.
Кроме того, согласно Блумберг Новизна технологии может позволить ей обойти текущие ограничения США на экспорт систем EUV в Китай. Представитель Canon не подтвердил, будут ли системы наноимпринтинга ограничены Bloomberg.
Наноимпринтинг уже давно рекламируется как альтернативное решение для литографии, несмотря на прошлые проблемы с дефектами.
Но после приобретения в 2014 году компании Molecular Imprints Inc., пионера наноимпринтинга, компания Canon посвятила почти десятилетие развитию этой технологии и решению этих проблем. После коммерческого запуска Canon должна доказать, что ее системы наноимпринтинга могут обеспечить надежное крупносерийное производство.
Конкурент Canon, корпорация Nikon, также изо всех сил пытается идти в ногу со временем, поскольку ASML доминирует на рынке литографии. В компании ASML наблюдается огромный спрос, а выручка растет пять кварталов подряд, и она ожидает, что в этом году чистые продажи вырастут на 30%, поскольку производители микросхем перейдут на EUV. Акции Canon в этом году также выросли на 26% на фоне роста рынка в целом.
Этот запуск представляет собой первый шаг Canon в освоение передовых систем литографии после многих лет, сосредоточенных на менее совершенном оборудовании. Это подчеркивается строительством нового завода по производству полупроводникового оборудования в Уцуномии для производства систем наноимпринтинга. В случае успешного внедрения эта технология может по-настоящему встряхнуть отрасль, прочно укоренившуюся в EUV, и положить конец монополии ASML.
Предоставлено изображение: Джереми Уотерхаус; Пексели; Спасибо!
