- Потерянный рента
- Текущие методы управления процессом недостаточно для решения стохастических ошибок с большим объемом
- Новая белая бумага разорванная дизайн и измерение решений для закрывающегося зазора Stochasti
Новая белая статья утверждает, что полупроводниковая промышленность теряет миллиарды долларов, потому что лишь немногие слышали вне поля: стохастическая изменчивость.
Эта форма случайной структурирующей вариации в настоящее время считается наибольшим препятствием для достижения высокой урожайности на самых передовых узлах процесса.
В документе была предоставлена Fractilia в Остине, штат Техас, чей технический директор Крис Мак обнаружил: «Стохастическая изменчивость способствует задержкам при введении передовой технологии процессов в объеме производства в случае миллиардов долларов».
Влияние урожайности, производительности и надежности
Мак также объяснил, что текущие стратегии управления процессом не могут лечить эти случайные эффекты.
«Закрытие пробела Stochasti требует совершенно разных методов, которые производители устройств должны проверять и принимать», — сказал Мак.
Fractilia определяет этот «толером на стохасти» как разницу между тем, что можно структурировать в исследованиях, и тем, что можно надежно произвести в случае приемлемых выходов.
В центре этого разрыва находится случайность, которая основана на физике материалов, молекул и источников света в производстве чипов.
Хотя эти эффекты когда -то были незначительными, они теперь потребляют растущую долю бюджета по производству ошибок.
«Мы увидели, как наши клиенты представляют плотные особенности всего 12 нанометров в исследованиях и разработках», — сказал Мак. «Но если вы попытаетесь перенести его в производство, стохастические ошибки оказывают влияние на вашу способность достичь приемлемого урожайности, производительности и надежности».
Проблема выросла в дополнение к росту EUV и High-E-E-E-E-E-E-E-E-E-E-E-E-E-E-EUV литографии. Этот прогресс позволил производителям чипов возможными, чтобы попробовать еще меньшие характеристики, но они также сделали их более восприимчивыми к стохастическим дефектам.
В отличие от обычной изменчивости, этот тип не может быть удален с более строгими элементами управления, но должен управляться с помощью методов проектирования и измерения на основе вероятности.
«Stochastiklücke -это проблема в отрасли», -сказал Мак. «Эта проблема может быть сведена к минимуму и контролирована, но все начинается с точной стохастической технологии измерения».
Белая бумага, которую вы можете скачать ЗдесьАнализ проблемы включает в себя и предлагает стохастический дизайн, материальный новичок и обновленные управления процессом в качестве способа.